等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場+電子→電子

(2)電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期   換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統(tǒng)構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量，而且使設備維護費用也很低。

等離子廢氣凈化器產品特點性能特點：

1、，引進   技術。

2、模塊設計、靈活簡便，安裝簡單，占地面積小。

3、放電強度大，產生等離子體密度大。

4、聯合等離子體中光子的協(xié)同作用較傳統(tǒng)的電暈放電和DDBD，加的降解廢氣。

5、空氣阻力小，減少壓降損失，耗電量小。

6、適用于多數的惡臭廢氣和廢氣，降解率高。

7、電極不與處理廢氣直接接觸，使用壽命長。

8、不宜用于高溫高濕度的氣體，大風量情況下不建議使用。

低溫等離子廢氣凈化器應用：

a、治理油煙粉塵，如大型火力發(fā)電廠、卷煙廠、紡織品廠、印刷廠、造紙廠、鋼鐵廠、水泥廠等。

b、治理廢氣、異味氣體，如污水處理廠、泵站、化工廠、制藥廠、香精廠、屠宰場等。

c、空氣凈化，如醫(yī)院、餐飲、賓館、娛樂場、車船，候車室等公共場所等。